利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能UV光束裂解工业废气中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到净化及杀灭细菌的目的．从净化空气效率考虑，我们选择了-C波段紫外线和臭氧发结合电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放吸附技术相结合的原理对有害气体进行消除，其中-C波段紫外线主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、丙酮、尿烷、树脂、等气体的分解和裂变，是有机物变为无机化合物。
恶臭气体（工业废气）UV高效光解净化设备与其他处理方法比较脱臭方法的特征与经济性
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处理技术 |
设备投资 |
处理风量 |
处理浓度 |
运营成本 |
运行管理 |
脱臭效率 |
二次污染 |
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UV光解氧化法 |
低 |
大 |
高 |
低 |
易 |
高 |
无 |
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直接燃烧法 |
高 |
小 |
高 |
高 |
难 |
高 |
有 |
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活性炭吸附法 |
低 |
中 |
低 |
高 |
易 |
低 |
无 |
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化学催化法 |
高 |
小 |
高 |
高 |
难 |
高 |
有 |
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臭氧除臭法 |
高 |
中 |
中 |
高 |
难 |
中 |
无 |
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生物分解法 |
中 |
中 |
中 |
低 |
难 |
中 |
有 |
经以上UV/O3高能光解废气净化设备处理的排放废气均可达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）及《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）的要求。
